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    产品中心 Product

    • 产品详情
    产品名称: 氟甲烷 Halocarbon 41 - Fluoromethane CH3F
    包装规格: 40L, 47L, 50L高压钢瓶 (GB, ISO, DOT)
    充装量: 40kg/瓶
    项目纯度指标  
    氟甲烷 CH3F99.5%99.995%
    氧气≤20  ppbv≤5  ppmv
    氮气≤70 ppbv≤20 ppmv
    二氧化碳
    ≤10 ppmv
    一氧化碳
    ≤10 ppmv
    甲烷
    ≤5 ppmv
    水分≤10 ppbv≤2 ppmv

    运输
    DOT 运输名称氟甲烷
    DOT 分类2.1
    DOT 标签可燃气体
    UN NO.UN2810
    CAS No.593-53-3
    CGA/DISS/JIS350/724/W22-14L
    运输状态液化性气体

    技术信息
    钢瓶状况 @ 21.1°C 液体
    在空气中的燃烧极限
    自然温度 (°C )-18
    分子量 (g/mol)34.03
    比重 ( 空气 =1)1.18
    临界温度 ( °C )45

    应用
    在半导体制造中,氟甲烷是硅化合物薄膜的等离子刻蚀气体。


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